진공챔버(증착기)의 챔버내 로드셀 사용 사례

2019년 2월 25일

업체명: (주)OO엔텍 설치제품: 로드셀ZMNT-1T   2014년 로드셀ZMNT-1T을 반도체 부품, 플라즈마식각 및 증착, 특수열처리 장비 생산업체 (주)OO엔텍에 납품하였습니다.   진공의 챔버내에서 디스플레이 패널과 기판을 일정한 힘으로 증착 시키기 위해 사용되었으며, 최대용량은 1TON, Combined error는 1%이내 입니다.